半导体核心设备零部件深度调研，价值量和需求趋势，订货周期更新。国产化进度和增长展望，工艺难点和壁垒。MKS/EBARA/爱德华/新莱应材/中微/北方华创

以下为专家观点

关于真空泵和真空阀，目前国内市场的情况如何？

真空泵有很多种类，其中前级干式泵在国内市场较为火热。其主要应用集中在新能源和半导体两个方向。新能源领域包括锂电池、光伏以及光电等；而半导体领域则涵盖设备制造商及晶圆厂（fab厂）。目前，国内晶圆厂正在逐步突破，但高端泵仍以进口为主。在光伏行业，由于对成本极其敏感，国产化比例较高，并且未来可能会超过进口产品的市场份额。至于中控阀，中低端市场已经基本实现国产化，而高端市场仍由国外品牌主导。例如，全球顶尖厂商包括爱德华、日本岛津、大阪真空...