摘要
1.请介绍一下半导体射频电源的作用?
半导体射频电源是半导体生产工艺设备中提供核心能量源的器件,是半导体生产设备中的重要部件。它与具体的制程节点(如14纳米或7纳米)没有直接的强相关性,同一款或同核心参数的电源可用于不同制程。不过,总体趋势是越先进的制程对电源的技术要求越高。
2.衡量半导体射频电源性能的核心技术指标有哪些?
核心技术指标主要有三个。最核心的是频率和功率,这两个参数构成了产品矩阵。功率方面,半导体领域通常使用几百瓦至千瓦级的电源,最高可达50千瓦;而在面板制造等领域,由于处理面积大,可能需要100至200千瓦的电源。
频率方面,范围从低频的400kHz到100MHz、200MHz不等。通常,极低频(如400kHz)的电源功率不会做得特别大,但也可达到十几或二十千瓦;而极高频的电源功率一般不会做得很小...
全文
全文为付费会员专享,免费用户仅可阅读摘要。
觉得有帮助?分享给朋友,带来新用户可持续支持我们更新高质量内容。