半导体射频电源分析暨工业电源龙头近况更新—主要客户及下游景气度

1.请介绍一下半导体射频电源的作用？

半导体射频电源是半导体生产工艺设备中提供核心能量源的器件，是半导体生产设备中的重要部件。它与具体的制程节点（如14纳米或7纳米）没有直接的强相关性，同一款或同核心参数的电源可用于不同制程。不过，总体趋势是越先进的制程对电源的技术要求越高。

2.衡量半导体射频电源性能的核心技术指标有哪些？

核心技术指标主要有三个。最核心的是频率和功率，这两个参数构成了产品矩阵。功率方面，半导体领域通常使用几百瓦至千瓦级的电源，最高可达50千瓦；而在面板制造等领域，由于处理面积大，可能需要100至200千瓦的电源。

频率方面，范围从低频的400kHz到100MHz、200MHz不等。通常，极低频（如400kHz）的电源功率不会做得特别大，但也可达到十几或二十千瓦；而极高频的电源功率一般不会做得很小。产品矩阵在频率与功率的坐标图上大致呈现扇形分布。第三个关键指标是匹配，即电源与用电设备之间的阻抗匹配，以实现高效能量传输。自动匹配能力和匹配响应速度是客户关注的重点。此外，随着工艺复杂化，还出现了能同时输出多个频率（如13.56MHz加60MHz或100MHz）的双频或多频电源。

3.半导体射频电源在交付给不同设备商客户时，是否存在标准化与兼容性问题？

目前市场尚未实现标准化，任意一款电源，即使频率和功率参数相同，也无法直接在不同设备商的机器上通用。每一款电源都需要经历一个匹配导入过程，即与客户的设备进行联合调试。根据经验，这个联调过程至少需要3到6个月。联调内容主要包括电源与设备在性能工况上的适配，例如功率输出的平滑度调整，以及双方设备间的通信协议匹配。在通信协议方面，由于缺乏行业统一标准，通常由合作双方根据各自的协议进行协商，强势一方会要求对方进行适配。

4.在半导体设备中，射频电源的典型用量和使用寿命是怎样的？

通常情况下，一个反应腔（机头）会配备一个射频电源。尽管存在少数情况下一个机头使用多个电源，但这目前占比很小。在正常工况下，射频电源的使用寿命大约为4到6年。

5.目前市场上的半导体射频电源产品规格有哪些？

当前出货量主要集中在几个特定规格。低频方面，400kHz的产品较多，其中1.5千瓦和5千瓦的型号是销售主力。2MHz频率下，3千瓦的型号较为常见。13.56MHz是出货量最大的频段，产品覆盖范围很广，从小功率的一两千瓦到大功率的十千瓦、二十千瓦都有。此外，更高频率的27.12MHz和用于相对先进制程的60MHz也有相当的出货量。

6.不同半导体制程工艺对射频电源的规格要求有何差异？

射频电源的规格要求与半导体加工顺序和工艺类型相关。例如，在前端的沉积等工艺中，对电源频率的要求相对较低；而在后端的刻蚀等工艺中，对频率的要求则会更高。因此，同一款电源，比如13.56MHz的产品，既可能用于老旧制程的后端工艺，也可能用于先进制程的前端工艺。

7.近年来半导体射频电源市场的出货结构发生了怎样的变化？

过去整个半导体行业对先进工艺的追求并非主流，传统制程能满足大量芯片生产需求。但近一两年，由于部分国外关键电源厂家受到制裁，国内设备厂商开始积极寻求国产电源厂家合作，共同开发用于先进制程的设备。这导致适用于先进制程的电源出货量在近一两年显著增加，并且预计未来两三年将持续增长。不过我认为从更长远的角度看，用于成熟制程的电源总出货量预计仍将大于先进制程。

8.英杰电气在半导体射频电源领域的进展怎么样？

英杰电气早期的策略偏向保守，投入较大精力开发适用于成熟制程的电源产品，并与中微公司等客户进行适配工作。但近一两年市场风向转向先进制程，这使得英杰电气在先进制程电源领域的布局相对落后，与竞争对手恒运昌相比有一定差距。恒运昌凭借其创始团队的行业背景和市场敏锐度，一直专注于先进工艺，并与拓荆等公司深度绑定，其在先进制程电源的出货量大于英杰。

英杰的策略差异化体现在，除了传统制程（如180nm、45nm、28nm）外，还投入资源开发用于碳化硅、IGBT等领域的电源设备。

9.英杰当前射频电源业务的主要客户构成是怎样的？未来的客户拓展计划是什么？

在2025年，预计超过70%的射频电源订单将来自中微公司。同时，英杰电气也在积极与Fab厂探索直供合作模式，包括中芯国际、华虹和长江存储等。展望2026年，英杰电气计划拓展碳化硅领域的客户，并寻求在北方华创实现业务突破。

10.请介绍一下2025年射频电源业务的客户构成情况？

2025年，中微公司是英杰最主要的客户，贡献了约70%的业务。其余客户中，北方华创是另一个重要来源，占比超过10%。剩下的部分则由一些规模较小的客户构成，包括部分晶圆厂的直接供应，但这些合作的出货量相对不大。目前正在积极拓展国内的碳化硅领域客户。

11.目前与中微公司的合作进展如何？

与中微公司的合作关系在2025年9月之后有了显著改善。此前，由于中微方面对半导体设备受制裁的风险预判较为保守，双方的合作意愿和推进效率都不够快。自MKS、AE等公司受限后，中微的配合意愿大幅增强，合作项目推进速度显著加快，目前产品导入周期基本能控制在三个月左右，甚至更快。

12.合资公司未来的重点方向是什么？其与“成都分公司”的关系和业务模式是怎样的？

合资公司的定位是，其销售的产品主要由一个名为“成都分公司”的实体进行研发和生产。“成都分公司”生产的产品销售给合资公司，再由合资公司销售给中微或由中微开发的客户。

在股权结构上，合资公司由中微和英杰共同持股；而“成都分公司”是英杰电气独立投资设立的工厂，配备了核心研发人员。在销售链条上，中微在合资公司的客户拓展方面占据主导地位。

13.射频电源业务在2024年和2025年的收入分别是多少？2026年的收入目标是多少？

根据发货数据估算，射频电源业务2025年的收入增长了约40%。2024年的情况不到2亿元。对于2026年，研发团队和销售团队对增速表现乐观，基于新加入的AE前员工以及在碳化硅市场的快速进展，他们认为收入可以达到更快的增速。

14.2026年射频电源业务的工作重点是什么？

2026年的核心工作重点是与中微公司紧密配合，将更多已完成研发的产品导入其设备平台。同时，英杰电气将重点寻求在先进制程领域取得突破，因为现在判断未来几年的市场将以先进制程为主。先进制程的研发工作将通过合资公司进行，因为这需要与设备厂商进行非常紧密的协同。

15.通过与中微的合资公司进行先进制程研发，是否会给拓展其他客户带来困难？

是的，这会带来一定难度。特别是北方华创，但鉴于英杰电气对半导体行业的理解还需要加强，与设备厂深度绑定是当前阶段的必然选择。

16.目前射频电源市场的主要竞争对手是谁？其竞争优势和劣势分别是什么？

国内市场的主要竞争对手是恒运昌。尽管该公司尚未上市，但其出货量可能已经较大。恒运昌的优势在于其团队与AE渊源深厚，对半导体行业理解深刻，产品定位精准，并且与拓荆科技维持着良好的合作关系。可以理解为，英杰是懂电源但对半导体行业理解不足，而他们是既懂半导体设备，电源技术也无大碍。其劣势在于公司整体规模尚不够大，研发实力和制造能力仍有提升空间。此外，他们与拓荆的深度绑定关系，也使得中微不可能大规模采用其产品。半导体电源业务高度依赖与设备厂的绑定关系。

17.恒运昌的主要客户有哪些？

恒运昌的主要客户是拓荆科技，拓荆同时也是其股东。此外，他们也向中微销售部分用于先进制程的产品。

18.半导体射频电源的典型产品价格是多少？

射频电源的价格根据具体规格而异，但其价值通常占整套半导体设备成本的15%左右。以一款相对成熟的13.56MHz、3kW等离子体电源为例，其售价接近10万元人民币。这类产品的成本和利润优势都非常明显。

19.除了半导体射频电源业务，其他下游业务的构成和占比情况如何？

英杰电气营收的主体仍然来自光伏领域的单晶炉、多晶炉和还原炉电源。由于电源设备属于损耗品，且2025年的许多应收账款在2026年才确认收入，因此从财务报表看，2026年光伏相关业务仍是支柱。过去，光伏业务营收占比曾超过60%，现在预计会降至40%左右。与此同时，射频电源业务的营收占比预计将在2026年提升至接近40%。剩余约20%的收入则来自钢铁等多个较为分散的行业。

20.光伏业务的主要客户群体是哪些？

客户主要是生产光伏电池的组件厂。国内一线的光伏生产厂家基本都使用公司的单晶炉和多晶炉产品。

21.2025年光伏业务的应收账款情况以及回款质量如何？

关于回款，尽管光伏行业整体不景气，但问题不大，因为目前仍在运营的客户主要是行业龙头企业，不过也存在一些不太理想的情况。

22.对于光伏业务2025年和2026年的景气度有何判断？

2025年光伏行业并未触底。预计到2026年，整个行业将继续减产和萎缩。

23.除了光伏业务，其他下游业务的景气度如何？

半导体业务是公司最重要的增长点。此外，子公司从事的储能及电池相关业务预计在2026年会有重大突破。

24.目前供给光伏行业的产品单价是怎样的？未来是否存在降价压力？

光伏产品的单价相对较高，因为其功率很大，通常达到几十千瓦，单台设备价格约在二三十万元，具体价格因技术规格而异。其毛利率不如半导体业务，未来价格不会主动下调，英杰电气在光伏多晶炉领域占据市场规模上的优势地位，但这种地位也并非技术性的。如果同行开始降价，可能也不得不跟进。

25.英杰目前的在手订单情况以及生产排产状况如何？

光伏业务的在手订单情况较差。相比之下，半导体业务表现较好，主要得益于2025年下半年与中微公司签订了一系列订单。目前已明确排产、将在未来2-3个月内发货的金额较多。生产线目前并不繁忙，不存在严重的排产压力，尤其是在成都分公司建成后，产能问题得到了进一步缓解。不过，产线扩张速度较慢，因为对熟练工人的要求很高，新招聘的工程师需要较长的周期才能上手。